摘要: 目的 研究膜层牢固度好、满足各种用户对膜层厚度要求、质量一致性好的多弧离子镀膜工艺参数组合。方法 运用日本田口玄一创立的隐健性设计方法进行研究。结果 与原工艺膜厚相比均匀性提高约６．５ｄＢ，并找出膜厚与弧电流之间的线性关系；硬度一致性提高约３．４ｄＢ，显微硬度值提高约９３７ｋｇ·ｍｍ＾－２。结论 动态特性的稳健性设计是一种高效率、高再现性的技术开发方法。