摘要: 在用直流电弧等离子体喷射法制备的金刚石薄膜中,用透射电镜观察到了大量的环形和螺旋形的碳结构。螺旋平卧在薄膜平面方向,其直径大约为50～100nm,长度约为500～800nm。金刚石薄膜采用自行设计的等离子体反应器制备,生长条件为:反应室压力1 kPa;电弧电流100A;电弧电压30V;生长时间2h。透射电镜为日本JEOL公司产的