摘要: 我们对不同的晶态硅样品,进行高剂量(1×10~(14)—1×10~(16)cm~(-2))的离子注入,采用不同的离子源(B,P,A_s)和不同的注入能量(60—100kev),最终形成非晶态层。 文章给出激光辐照使a—S_i向c—S_i发生结构转变的观测结果。 文中还对不同形式样品的c—v实验曲线进行讨论。